龙头企业整合加速 半导体行业并购活跃-新华网
2天前 - 朱克力认为,当前,国内设备企业在刻蚀、薄膜沉积、清洗等环节已实现关键突破,但光刻机、高端检测设备等仍依赖进口,通过并购可以快速获取技术...www.xinhuanet.com
高端光刻机
光刻机_360百科
光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，所以叫 Mask Alignment System.一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。Photoli... 详情>>概要 - 主要厂商 - 品牌 - 分类 - 全部baike.so.com
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