光刻机_360百科
光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，所以叫 Mask Alignment System.一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。Photoli... 详情>>概要 - 主要厂商 - 品牌 - 分类 - 全部baike.so.com
光刻机是干什么用的
光刻机是什么-电子发烧友网
2019年3月13日 - 光刻机是微电子制造的关键设备,广泛应用于集成电路、平面显示器、LED、MEMS等领域。在集成电路制造中,光刻机被用于制造芯片上的电路图案...www.elecfans.com
光刻机是干什么用的?_360问答
2021年10月20日 - 光刻机是制造芯片的核心装备。 光刻机采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。光刻机一般根据操作的简便性分为三种...