厉害!中科院5nm光刻技术突破,国产VCSEL光芯片打破欧美垄断|nm|中科院|... 2023年4月17日 - 上海微电子科技公司在光刻机上取得突破.我们要有更好的发展,就必须在一些更高层次的技术上有所突破,让他们意识到中国强大了。...m.163.com