2025年11月17日 - 科技科学中国技术芯片中国智造光刻机AI次世代发消息充电.中国EUV光刻机「心脏」跳动了!高功率锡等离子体光源连续运行超100小时,ASML专利墙出现裂缝...

2026年1月8日 - 这一下,原本打算购买国产光刻机的单位纷纷改了主意,连长期合作的中科院109厂都取消了订单,国产光刻机一下子没了市场,徐端颐教授的团队没办法,只能放弃...

2025年9月26日 - 全村希望中芯国际迎来久违的好消息,3日晚间,与荷兰光刻机制造商阿斯麦签订12亿美元(77亿人民币)购买单!上观新闻.国产光刻机再迎利好,首台电子束光刻机...

2026年1月13日 - 1、中科院重组:公司控股股东为中国科学院长春精密机械与物理研究所,持股比例高达42.4%;2、光刻机概念:控股公司禹衡光学产品光栅编码器为国内龙头企业,...