这些杂质和污染物的存在可能会影响后续的光刻、蚀刻、沉积等工艺,进而影响芯片的性能和可靠性.那诺中国有限公司(www.nanochina17.com)主要提供掩模版兆声清洗机,全自动兆声...

2026年1月31日 - 精度与均匀性的重要指标精度是衡量等离子刻蚀机性能的首要标准,直接决定芯片能否实现设计的电路功能.以5nm制程逻辑芯片为例,其晶体管栅极宽度只十几纳...

倒装芯片键合前的清洗 在倒装芯片封装中,芯片等离子刻蚀机可以对芯片和载体进行等离子清洗以提高表面活性,然后倒装芯片键合可以有效地防止或减少空洞并提高附着力.高台清洗...

2025年4月4日 - 中国芯片刻蚀机之父 —尹志尧.当时,我国的集成电路刚刚起步,资金、人才、设备方面都存在较大缺口,加上刻蚀机研制生产的复杂程度,这就使得尹...news.sohu.com

2026年1月28日 - 在GaN(氮化镓)、GaAs(砷化镓)等化合物半导体制造中,等离子刻蚀机需适配特殊材料特性.例如,在GaN基射频器件制造中,刻蚀机需精细刻蚀栅极凹槽,控制刻蚀...