2026年1月22日 - 汽车芯片(如MCU、功率半导体)需适应恶劣工况,等离子刻蚀机用于加工其高可靠性结构.在LED芯片制造中,等离子刻蚀机用于加工蓝宝石衬底上的氮化镓层,形成...

2026年1月15日 - 随着芯片集成度提升,先进封装(如CoWoS、SiP、3DIC)成为突破性能瓶颈的关键,而等离子刻蚀机在此领域的应用场景也不断拓展,从传统的 前道工艺 延伸至 后...

2026年1月23日 - 进入店铺精度与均匀性的重要指标精度是衡量等离子刻蚀机性能的首要标准,直接决定芯片能否实现设计的电路功能.以5nm制程逻辑芯片为例,其晶体管栅极宽度...

2026年1月29日 - 存储芯片(如DRAM、NAND)的堆叠结构依赖等离子刻蚀机加工.多材料兼容是等离子刻蚀机适应多样化芯片需求的重要优势,指设备可通过调整工艺参数(如气体种...

2026年1月23日 - 多材料兼容是等离子刻蚀机适应多样化芯片需求的重要优势,指设备可通过调整工艺参数(如气体种类、射频功率、温度),对硅、锗、砷化镓(GaAs)、氮化镓(GaN...