2024年10月5日 - 中科院旗下专业光刻机制造企业,拥有雄厚的技术研发实力和先进的生产设备,致力于光刻机领域的研发、生产与应用。.相关标签:中科院光刻机最新进展中科院...

2024年11月29日 - 中科院光刻机售后服务EVG100光刻胶处理系统可以处理多种尺寸的基板,直径从2寸到300mm。.中科院光刻机售后服务「岱美仪器技术服务供应」EVG®150光刻胶...

2025年12月23日 - EUV光刻机研发难度极大,需攻克激光等离子体光源、原子级光学系统、高精度双工件台三大核心部件技术.面对封锁,中科院团队在EUV光源技术上取得关键突破,...