2026年1月27日 - 该光刻机/紫外曝光机由韩国MIDAS公司生产,提供MDA-400M, MDA-400LJ,MDA-600S等多个型号.感谢南开大学,中科院半导体所,中科院长春应化所,中科院物理所,...

2025年8月24日 - 全球仅少数企业能制备顶尖光刻机,技术高深令无数企业望洋兴叹。.中科院长春光机所死磕高功率EUV光源和反射镜组等核心组件,主攻亚纳米精度加工——误差...