2026年2月2日 - 中国28nm光刻机国产化率已超85%,价格仅为ASML同类设备的1/3.在光源系统上,科益虹源研发的浸没式光源功率已接近ASML水平,使用寿命更是大幅...post.smzdm.com

2026年2月1日 - 中国科学院光电技术研究所承担的国家重大科研装备——超分辨光刻装备项目通过验收,这个项目最主要的成果就是中国科学家研发成功世界首台分辨力最高的...

2026年1月28日 - 荷兰一家科技学院的董事在接受采访时说,中国与其花大把钱去搞光刻机研发,不如把这笔钱用在别的地方.所以,中国投入巨资研发光刻机,不是为了 ...m.163.com

2026年2月4日 - 中国在努力推动半导体设备的国产化,上海微电子作为国内光刻机研发的重要企业,其产品在国内市场有一定份额.上海微电子是中国光刻机领域的重要企业之一,...