比亚迪光刻机

时间:2026年02月16日 04:04:32

比亚迪7纳米光刻机- 电子发烧友网

2023年7月7日 - 光源是ArF(氟化氩)准分子激光器,从45nm到10/7nm工艺都可以使用这种光刻机,但是到了7nm这个节点已经的DUV光刻的极限,所以Intel、三星和台积电都会在7nm...